Controller
Embedded Files
OEM P/N：E11000350、E11000351
Tool：E500
Description：
E500 setup cup pre-amp
OEM P/N：E11048881
Tool：E500
Description：
Scanning Controller
OEM P/N：1176550
Tool：GSD
Description：
Load Lock Controller Assy
OEM P/N：1169010
Tool：GSD
Description：
Macobot Controller
OEM P/N：5990-0127-0001
Tool：NV-6200
Description：
4 MFC GAS Control
OEM P/N：E11001033
Tool：E500
Description：
E500 Dose Integrator Assy
OEM P/N：11032970
Tool：GSD
Description：
Y Scan Controller
OEM P/N：1192552
Tool：GSD
Description：
Y Scan Controller
OEM P/N：1192553
Tool：GSD
Description：
Y Scan Controller
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