OEM P/N：102935001

Tool：E1000

Description：
ELECTRODE, BIAS (沒poly 鍍膜)

OEM P/N：112599001

Tool：E1000

Description：
GRAPHITE INSERT

OEM P/N：17099660、17099661

Tool：GSD

Description：
Graphite OUTER BEAM DUMP

OEM P/N：17132280

Tool：GSD

Description：
EXTRACTION INSERT 15R-VGI, GSD

OEM P/N：17064260

Tool：GSD

Description：
GROUND PLATE

OEM P/N：E17156050

Tool：E500

Description：
SHIELD TRAVELING FARADAY

OEM P/N：E17122180

Tool：E500

Description：
CUP SHIELD TRAVELING FARADAY

OEM P/N：17062340

Tool：GSD

Description：
HIGH ENERGY ELECTRODE

OEM P/N：1789830

Tool：GSD

Description：
Graphite Repeller Plate